真空室污染怎么診斷及去除方法

除了靜態(tài)升壓法，還有其他的方法來(lái)檢測(cè)污染。在被污染的真空室內(nèi)氣體成分主要為可凝性蒸汽，通過(guò)壓力真空計(jì)來(lái)獲取壓強(qiáng)數(shù)值（不可凝氣體的分壓）并與電真空計(jì)讀數(shù)比較（壓力真空計(jì)和電真空計(jì)本身需清潔！）。如果壓力真空計(jì)測(cè)出氣體壓強(qiáng)數(shù)值遠(yuǎn)優(yōu)于電真空計(jì)下的測(cè)量值，就可以明確真空室腔壁有污染，通常為油。

另外一個(gè)常用方法是：使用同一非壓力真空計(jì)，裝上和不裝上冷阱前后比較壓強(qiáng)。如果真空室有污染，裝上冷阱后沖液氮，此將使壓強(qiáng)突然下降10倍以上。

去除玻璃設(shè)備的污染

如果污染物有很高的蒸汽壓，那么污染物可以用真空泵快速抽除。如果用真空泵抽除不了，那么設(shè)備必須要做清潔處理。被污染的玻璃部件首先要用鉻-硫酸混合物清洗，或者如果有必要的話用稀釋的氫氟酸（1:30）清洗，然后用蒸餾水沖洗。如果還不能達(dá)到效果，可以嘗試有機(jī)溶劑，然后再次用甲醇和蒸餾水沖洗玻璃部件（不要使用變性酒精！）。

去除金屬設(shè)備/金屬部件的污染

通常會(huì)顯示出石油和油脂污染的痕跡。如果這些東西不能通過(guò)泵入容器而輕易去除，那么適當(dāng)?shù)挠袡C(jī)溶劑（在所有情況下都不適合）將不得不用于清洗。的清潔度可以通過(guò)蒸汽浴來(lái)實(shí)現(xiàn)，比如在工業(yè)中常見(jiàn)的蒸汽浴。如果你想要降到極低的壓力范圍（<10-7 mbar），那么在清洗之后，金屬部件必須在高達(dá)200攝氏度的溫度下烘烤。嚴(yán)重污染的金屬部件首先必須通過(guò)切割或噴砂表面來(lái)清洗。這些方法的缺點(diǎn)是，表面處理的表面面積將通過(guò)粗化和活躍的中心來(lái)增加，而這些中心可能會(huì)被輕易地吸附在蒸汽分子上。在蒸氣浴中補(bǔ)充清潔（見(jiàn)上圖）是明智的。在某些情況下，表面的電解酸洗可能是有益的。在高真空元件的情況下，有必要注意確保酸洗不會(huì)變成蝕刻，這將嚴(yán)重增加表面面積。在粗糙和中等的真空范圍內(nèi)工作時(shí)，拋光表面是不需要的，因?yàn)楸砻嬖谶@些壓力系統(tǒng)中只起著從屬的作用。

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